大型干涉仪镜子的支承设计与温度变形分析

• 作者: 刘宏展 刘立人 张德江 徐荣伟
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 应用光学 光机热分析 干涉仪镜子 支承 温度梯度 有限元法
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 809-815
• 页数: 7页
• 分类号: TH74
• 字数: 3893字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2005.06.019

摘要

在星间激光通信中,涉及对大口径衍射极限激光波面的检测,为保证测量精度,必须严格控制波面干涉仪镜子的自重和温度变形.采用有限元方法对大型干涉仪镜子在不同支承方式下的表面变形进行了分析,结果表明,接触角为180°的钢带支承是较好的支承方式,反射镜表面变形峰-谷(P-V)值仅为1.35 nm,均方根(RMS)值为0.363 nm.根据这一结论,设计了一个固定支承点与浮动支承相结合的超静定钢带支承结构.在该结构下,分析了镜子轴向、径向、周向的温度梯度效应,分析数据表明,镜子的热弹性变形远大于自重变形,建议采取一定的温控措施,并采用平均效应的方法降低热效应的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘立人	中国科学院上海光学精密机械研究所	206	2115	24.0	35.0
2	徐荣伟	中国科学院上海光学精密机械研究所	8	136	7.0	8.0
3	刘宏展	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	143	7.0	7.0
4	张德江	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	87	3.0	3.0