功能陶瓷(玻璃)与金属材料阳极键合的机理研究及应用进展

• 作者: 孟庆森 宋永刚 秦会峰
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极键合 玻璃 单晶硅 MEMS 陶瓷 金属
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 2005年功能材料学术年会论文集
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: TG494
• 字数: 3719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.z1.017

摘要

阐述了功能陶瓷、玻璃等无机非金属材料与金属及半导体材料进行阳极键合的键合机理、在MEMS中的应用及其发展前景;列举了阳极键合在MEMS生产过程中的一些最新应用实例;指出了其在MEMS的生产制造过程中存在的一些问题及今后的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟庆森	太原理工大学材料科学与工程学院	92	422	11.0	16.0
2	秦会峰	太原理工大学材料科学与工程学院	6	37	3.0	6.0
3	宋永刚	太原理工大学材料科学与工程学院	6	41	3.0	6.0