双激光生物芯片分析仪扫描物镜设计

• 作者: 倪旭翔 王立强 石岩 陆祖康
• 来源期刊: 浙江大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 生物芯片 f-theta物镜 测试 扫描
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 机械与能源工程
• 页码范围: 1056-1059
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 2987字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2005.07.029

摘要

描述了一种用于生物芯片分析仪的像方远心f-theta扫描物镜.通过对物镜像差参数要求的分析,选择初始结构,利用ZEMAX进行了光学系统的优化,给出了数值孔径0.17,焦距40mm,总长140mm的f-theta物镜设计结果的光路图和芯片荧光测试实验结果.f-theta物镜用于生物芯片分析的扫描系统在100lp/mm的调制传递函数(MTF)在0.35以上,f-theta畸变量控制在0.13%以内,在整个视场内具有高荧光激发和收集效率,分辨率可以达到10μm,一块芯片的测试时间可以在200s以下.