铁镍氧化物膜电极的制备及其在碱性溶液中析氧的研究

• 作者: 周作祥 宋红 张德坤 王军红 耿新华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁镍氧化物 对靶磁控溅射 氧含量 过电位
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 661-665
• 页数: 5页
• 分类号: TN201
• 字数: 3218字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.021

摘要

采用对靶直流磁控溅射制备的铁镍氧化物薄膜,其电特性、电化学特性和结构与反应溅射过程中氧氩比之间有很大的关系.实验结果表明氧气流量较高时,材料的导电性较好,但过电位较大;反之氧流量较低时,电阻率较大,过电位较小,表面较粗糙.