可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究

• 作者: 张书练 李岩 王昕 蒋天罡
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 可调合成波长链 台阶高度 可调谐半导体激光器 绝对干涉测量
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 光电测量与系统
• 页码范围: 518-520
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 2617字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.07.018

摘要

文章在分析台阶高度测量现状和背景的基础上,着重介绍了用半导体激光器实现台阶高度的绝对干涉测量方案,提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,并详细分析了本方案的原理、误差.