二氧化硅光波导环形谐振腔

• 作者: 丁纯 王跃林 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 环形谐振腔 二氧化硅光波导 微型光学陀螺
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 1330-1332
• 页数: 3页
• 分类号: TN629.1|TN814+.6
• 字数: 2031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.10.007

摘要

利用宽角光束传输法(WA-BPM)对二氧化硅平面波导环形谐振腔进行了优化设计,详细分析了不同环形腔长度下,谐振腔清晰度与环形腔耦合器耦合系数的关系,并进一步分析了由光探测器散弹噪声所限制的谐振型光学陀螺极限灵敏度和环形腔光路参量之间的关系.在此基础上,在硅衬底上利用火焰水解化学掺GeO2的二氧化硅波导上制作成带输入/输出耦合器的环形谐振腔芯片.并通过实验测试了所研制的光波导环形谐振腔,其清晰度高达60,理论分析表明采用上述环形谐振腔研制的陀螺,其极限灵敏度可达1°/h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
2	马慧莲	浙江大学信息与电子工程系	57	569	13.0	21.0
3	王跃林	浙江大学信息与电子工程系	39	434	11.0	19.0
4	丁纯	浙江大学信息与电子工程系	12	280	8.0	12.0