DF强激光反射镜热畸变的检测及热吸收的有限元分析

• 作者: 刘志国 张彬 蔡邦维 黄伟 齐文宗
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 热吸收 有限元分析
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 379-383
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5|O343.6|TN247
• 字数: 3318字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.03.019

摘要

以功率约为30 kW,中心波长为3.8μm,出光时间为1 s的连续DF化学激光器作为抽运源,在抽运光共轴近正入射于圆形反射镜条件下,利用夏克-哈特曼(Shack-Hartmann)波前传感器,对不同工艺条件下镀制的3.8/0.633μm双波段多层膜强激光反射镜的热畸变量进行了检测.基于热传导方程和热弹方程,在考虑到空气折射率热效应基础上,利用有限元分析方法,完成了对不同反射镜热吸收的评价.结果表明,在目前最好的工艺参数控制条件下,所镀制的反射镜的热吸收率接近于80×10-6.从而在膜层材料及膜系设计结构均完全相同的前提下,达到了评价及优化膜系镀制工艺的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张彬	四川大学电子信息学院	219	1042	16.0	21.0
2	蔡邦维	四川大学电子信息学院	66	756	15.0	24.0
3	齐文宗	四川大学电子信息学院	8	60	3.0	7.0
7	黄伟	四川大学电子信息学院	71	294	11.0	14.0
11	刘志国	中国科学院光电技术研究所	8	30	4.0	5.0