高温质量流量传感器技术研究

• 作者: 王慧 蒲勇
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 热敏电阻 质量流量 薄膜工艺
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 11-12
• 页数: 2页
• 分类号: TP2
• 字数: 1461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2005.05.004

摘要

介绍了一种适合气态和液态流体的新型热敏电阻式流量传感器,采用了陶瓷、Al2O3、金属铂和不锈钢等高温材料,运用了溅射镀膜、激光调阻、玻璃烧结、钎焊等工艺技术,克服了毛细管上绕漆包线的传统工艺所带来的一系列问题,具有不老化、漂移小、寿命长、适用于高温流体和高温环境等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒲勇	南昌大学材料科学研究所	15	108	6.0	10.0
2	王慧	南昌大学材料科学研究所	6	5	1.0	2.0