热气泡式微喷技术研究

• 作者: 尚智 赵钧 陈硕
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微喷技术 热气泡 微执行器 电阻薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 377-379
• 页数: 3页
• 分类号: TN402|TP278
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.133

摘要

分析了各种热气泡式微喷技术及其发展状况,并介绍了一种顶端发射的热气泡微喷射执行器的设计,该微喷执行器主要应用于喷墨打印、微电子冷却和医药加工等领域.这种热气泡式微喷射技术是利用MEMS微加工的方法制造具备弹射功能的微流体机电系统.研究显示结构设计具有很好的热效率,喷射液滴质量稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尚智		11	53	4.0	7.0
2	陈硕		12	94	6.0	9.0
3	赵钧		12	69	5.0	8.0