行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟

• 作者: 刘祥林 左然 张红
• 来源期刊: 工程热物理学报
• 学科: 文学
• 关键词: 化学气相沉积 输运过程 热对流 数值模拟
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 671-673
• 页数: 3页
• 分类号: H8115|Q4725
• 字数: 1559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-231X.2005.04.040

摘要

针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的关系,特别是反应腔内对流涡旋的产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘祥林	中国科学院半导体研究所	19	103	5.0	9.0
2	左然	江苏大学能源与动力工程学院	69	606	14.0	22.0
3	张红	江苏大学能源与动力工程学院	23	150	6.0	12.0