分层蒸镀制备聚酰亚胺自支撑膜及其特性研究

• 作者: 吴永刚 张莉 戚同非 林小燕 焦宏飞 王勇 田国勋 陈玲燕
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 分层蒸镀 单体 聚酰亚胺 自支撑膜 表面形貌
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1528-1532
• 页数: 5页
• 分类号: TN244
• 字数: 3447字
• 语种: 中文

摘要

采用分层蒸镀法,在玻璃基片上依次蒸镀二氨基二苯醚(ODA)和均苯四甲酸二酐(PMDA)两种单体,然后在空气环境中对样品进行不同温度和时间的热亚胺化处理,使二者在交界面上反应生成聚酰亚胺.经加热150 ℃ 1 h然后经350 ℃ 2 h处理的样品,在脱膜后能制备出直径1.8 cm,厚度为100 nm的聚酰亚胺自支撑薄膜.用FTIR测量了自支撑薄膜的红外光谱,特征吸收峰的分析表明薄膜已基本上完全亚胺化.用原子力显微镜分析了浮法玻璃衬底上聚酰亚胺薄膜的表面形貌,结果表明以ODA作为内层制备的膜层表面更光滑平整.