超短激光脉冲烧蚀铜材料的数值模拟

• 作者: 倪晓昌 杨丽 梁建国 王清月
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 超快激光技术 有限差分 双温方程 烧蚀深度
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 1291-1294
• 页数: 4页
• 分类号: TG156.99
• 字数: 2353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.09.029

摘要

使用约化后的双温方程(DTE)对超短激光脉冲烧蚀铜薄层的过程进行了数值模拟;基于超短激光脉冲烧蚀过程中电子与晶格的温度不平衡性,分别模拟了这两个系统的温升过程,并由此得到了单脉冲烧蚀深度;通过变化激光能流,研究了脉冲能量对烧蚀深度的影响.模拟结果表明,随着激光能流的增加,相变爆炸引起的喷射出现得越深,同时材料烧蚀深度越大;理论计算与实验结果相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王清月	天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室	109	537	13.0	20.0