一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法

• 作者: 张大成 胡维 贺学锋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 弹性模量 双支梁 台阶仪 TN407
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 424-427
• 页数: 4页
• 分类号: TN407
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.152

摘要

在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算出弹性模量.采用低压化学气相淀积方法制备多晶硅双支梁.应用该方法测量得到多晶硅的弹性模量值为163GPa,残余应力为20.8MPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大成		43	793	13.0	27.0
2	胡维		1	2	1.0	1.0
3	贺学锋		3	13	2.0	3.0