反射式相位延迟器的性能研究

• 作者: 张东平 张大伟 王英剑 范正修 邵建达 黄建兵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 相移 反射式 退火
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 761-764
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2354字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.06.008

摘要

多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.通过优化设计,入射角为45°,在1285～1345 nm之间p,s波获得了270°±0.15°的相移和99.5%以上的反射率.对使用的膜系进行了每层光学厚度的误差分析.用离子束溅射技术制备相位延迟膜,在大气中对样品进行不同温度的退火,用分光光度计测试了光谱特性和用椭偏仪测试了相位特性.结果表明,未退火的样品在相应波段获得了267.5°±O.5°的相移和99.6%以上的反射率;根据拟合分析,最外层的误差和折射率与设计值的偏差是发生相移偏小的主要因素;随着退火温度的升高、折射率变小和物理厚度变大,相移将变小.