纳米金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律和理论

• 作者: 刘文利 李建明 李蕾 袁庆华 裘南畹
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 物理学
• 关键词: 厚度效应 特征时间 介观效应
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: O488
• 字数: 3008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2005.11.008

摘要

给出了动态厚度效应特征时间的公式,灵敏度Sn与膜厚l的关系和存在最佳膜厚的特征,电导激活能随膜厚变化的特征.提出了发展气敏机理的扩散反应功能概念;提出了在纳米气敏晶粒中引入介观效应概念和修正Fermi统计的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李蕾	山东大学物理和微电子学院	51	312	10.0	15.0
2	裘南畹	山东大学物理和微电子学院	23	36	3.0	4.0
3	袁庆华	山东大学物理和微电子学院	11	34	2.0	5.0
4	刘文利	山东大学物理和微电子学院	17	36	3.0	5.0
5	李建明	山东大学物理和微电子学院	16	43	3.0	6.0