新型三维微动台的设计与试验分析

• 作者: 巩娟 李庆祥 李玉和
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微动台 柔性铰链 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 设备设计与维修
• 页码范围: 115-117
• 页数: 3页
• 分类号: TH16|TP311.56
• 字数: 2181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2005.02.045

摘要

研究设计一种新型的、以压电陶瓷为驱动器的三维微动台结构.该微动台以柔性铰链为弹性导轨实现了微定位.分析所采用的直圆柔性铰链的参数变化对其造成的性能影响;提出一种新型柔性铰链结构,利用有限元分析软件ANSYS对这种新型结构进行理论分析和试验测试.试验表明:采用这种柔性铰链结构的微动台刚度比较小、运动耦合误差小,定位精度优于±0.01μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械系	84	2180	20.0	45.0
2	李玉和	清华大学精密仪器与机械系	59	1638	16.0	40.0
3	巩娟	清华大学精密仪器与机械系	5	78	4.0	5.0