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集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
作者:
刘军山
刘冲
徐敏
罗怡
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电化学
微流控芯片
剥离工艺
摘要:
研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.
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内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
来源期刊
中国机械工程
学科
化学
关键词
电化学
微流控芯片
剥离工艺
年,卷(期)
2005,(z1)
所属期刊栏目
生化微系统
研究方向
页码范围
94-95
页数
2页
分类号
O657.8
字数
1903字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.030
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
罗怡
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
53
695
13.0
25.0
2
刘冲
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
156
1345
17.0
30.0
3
刘军山
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
43
225
8.0
14.0
4
徐敏
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
4
29
3.0
4.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
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共引文献
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参考文献
(2)
节点文献
引证文献
(3)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
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参考文献(0)
二级参考文献(1)
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二级参考文献(1)
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二级参考文献(1)
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引证文献(1)
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2009(1)
引证文献(1)
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2011(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
电化学
微流控芯片
剥离工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国机械工程
主办单位:
中国机械工程学会
出版周期:
半月刊
ISSN:
1004-132X
CN:
42-1294/TH
开本:
大16开
出版地:
湖北省武汉市湖北工业大学772信箱
邮发代号:
38-10
创刊时间:
1973
语种:
chi
出版文献量(篇)
13171
总下载数(次)
15
总被引数(次)
206238
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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