一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现

• 作者: 吕苗 李倩 胡小东 赵瑞华
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 射频微电子机械系统 微机械加工 微封装 滤波器
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 231-232
• 页数: 2页
• 分类号: TN402|TN385
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.079

摘要

采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕苗	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	34	4.0	5.0
2	李倩	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	37	3.0	6.0
3	赵瑞华	中国电子科技集团公司第十三研究所	14	39	3.0	5.0
4	胡小东	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	27	2.0	5.0