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摘要:
针对微机电系统存在的问题,阐述了微摩擦的测试方法以及表面形貌对微机械中摩擦性能的影响,试验研究了表面形貌对介于宏观和微观之间摩擦行为的影响.试验用研磨的方法在硅片表面制作了不同宽度的条纹,通过UMT微摩擦测试仪研究了在不同速度和载荷下氮化硅陶瓷球和试样间的摩擦行为.试验表明,在硅片上制作出合适的条纹有助于降低摩擦系数,在低载低速下出现了测力梁突然释放弹性变形能的情况,使得摩擦力和载荷不稳定,而且随着表面条纹间距增大,这种现象的频率也越来越高,并通过理论分析解释了这些现象.
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文献信息
篇名 微观摩擦与表面形貌相关性的试验研究
来源期刊 中国机械工程 学科 工学
关键词 微机械 微摩擦 表面形貌 弹性变形
年,卷(期) 2005,(6) 所属期刊栏目 科学基金
研究方向 页码范围 542-545
页数 4页 分类号 TH117
字数 3201字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.06.019
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘莹 153 1424 18.0 30.0
2 温诗铸 清华大学摩擦学国家重点实验室 156 3364 28.0 50.0
3 董云开 清华大学摩擦学国家重点实验室 6 91 4.0 6.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
微机械
微摩擦
表面形貌
弹性变形
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国机械工程
半月刊
1004-132X
42-1294/TH
大16开
湖北省武汉市湖北工业大学772信箱
38-10
1973
chi
出版文献量(篇)
13171
总下载数(次)
15
总被引数(次)
206238
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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