介质上电润湿液滴驱动的研究

• 作者: 刘理天 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微流体 芯片实验室 微机械 介质上电润湿
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 1266-1268
• 页数: 3页
• 分类号: TH706|TH79
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.013

摘要

制备了介质上电润湿液滴驱动器,该驱动器采用"三明治"结构:下极板由Ti/Pt微电极阵列、Si3N4介质薄膜、碳氟聚合物疏水薄膜组成,上极板是覆盖有疏水薄膜的透明电极,液滴被夹在上下电极之间.分析了驱动器的驱动原理、驱动阻尼以及介质层捕获电荷的影响,讨论硅油填充"三明治"结构和空气填充"三明治"结构的差异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳瑞峰		67	379	11.0	15.0
2	刘理天		230	1519	19.0	23.0
3	吴建刚		21	236	10.0	14.0
4	曾雪锋		16	183	9.0	13.0