基于介质上电润湿的液滴产生器的研究

• 作者: 刘理天 吴建刚 岳瑞峰 康明 曾雪锋
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 介质上电润湿 液滴的操纵与控制 数字微流控系统 芯片实验室
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 字数: 3258字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.01.011

摘要

根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的"三明治"结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质层;上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极;另外,在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30 nm厚的Teflon薄膜为表面疏水层.实验结果表明,在空气气氛中,该器件在10 Hz 70 V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳瑞峰	清华大学微电子学研究所	67	379	11.0	15.0
2	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
3	吴建刚	清华大学微电子学研究所	21	236	10.0	14.0
4	曾雪锋	清华大学微电子学研究所	16	183	9.0	13.0
5	康明	清华大学微电子学研究所	10	124	7.0	10.0