基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究

• 作者: 李昕欣 王跃林 肖素艳 车录锋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 柔性 MEMS技术 聚酰亚胺 铂薄膜电阻 温度传感器
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 184-188
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.063

摘要

基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电阻温度系数接近于0.0023/℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
4	肖素艳	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0