聚酰亚胺多模干涉器结构的光学加速度传感器

• 作者: 李蓉 王海容 禹忠 蒋庄德
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 加速度计 多模干涉器 聚酰亚胺 有限元法 束传播法 集成光学
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: V241.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2010.01.002

摘要

针对电学原理的加速传感器在大温差、高电磁干扰的环境中的使用受限制,以及二氧化硅等无机材料制作的多模干涉器韧性差、折射率调节困难、尺寸较大等问题,提出了聚酰亚胺波导材料的多模干涉器结构集成光学加速度传感器.在外力作用下多模干涉器的输入/输出光场与干涉区会产生相对位移,导致各模式激励系数发生改变,通过输出场强的变化测得加速度.利用束传播法分析多模干涉结构以及环境温度与波导输出性能关系,以及有限元法分析力学结构对传感器性能的影响, 结果表明这种传感器具有加工冗余度高、温度稳定性高和线性度较好等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	王海容	西安交通大学精密工程研究所	29	262	10.0	15.0
3	禹忠	西安交通大学精密工程研究所	8	63	3.0	7.0
4	李蓉		4	82	3.0	4.0