压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真

• 作者: 石庚辰 隋丽
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 加速度传感器 灵敏度 固有频率 横向效应
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TJ4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2003.z1.016

摘要

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式,这种形式的传感器灵敏度比较高,但它的横向效应较难克服,文中提出一种四梁结构的加速度传感器,通过仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有良好的综合特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程学院	54	627	15.0	23.0
2	隋丽	北京理工大学机电工程学院	10	53	4.0	7.0