基于体硅湿法的高性能微加速度传感器技术

• 作者: 彭勃 袁明权
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 噪声 漂移 抗干扰
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2005.05.008

摘要

低的输出噪声、小的上电漂移和强的抗扰能力是高性能微加速度传感器的基本要求.利用一些结构和电路上有针对性的设计,可以有效地提高器件在这三方面的性能.实际制作的样品表明,传感器开环的输出噪声已被控制在0.3 μV/√Hz,上电稳定后的漂移在100 μV内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭勃	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	115	6.0	10.0
2	袁明权	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	63	4.0	7.0