悬臂梁式硅微加速度传感器的设计仿真

• 作者: 刘佑宝 单光宝 魏海龙
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: MEMS 微加速度传感器 设计仿真
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 68-72
• 页数: 5页
• 分类号: TP21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2003.03.018

摘要

文章利用ANSYS软件对悬臂梁式硅微加速度传感器敏感芯片进行了设计仿真,给出了一种能满足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度传感器的结构,并对加工时可能引入的工艺误差所带来的影响进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘佑宝		56	248	9.0	13.0
2	单光宝		14	37	3.0	6.0
3	魏海龙		12	38	3.0	5.0