特种压阻式加速度传感器的研制

• 作者: 蒋庄德 赵玉龙 赵立波
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 微型机械电子系统 固态压阻平膜芯片 弹性梁 高过载 加速度传感器
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 1049-1052
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2006.09.014

摘要

通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学机械工程学院	165	1512	18.0	28.0
5	赵玉龙	西安交通大学机械工程学院	81	540	14.0	19.0
9	赵立波	西安交通大学机械工程学院	23	103	7.0	9.0