集成现场标定功能的MEMS加速度传感器

• 作者: 吴迪东 董林玺
• 来源期刊: 杭州电子科技大学学报（自然科学版）
• 关键词: 微机电系统 自标定 电容式传感器 电磁驱动
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 12-16,50
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13954/j.cnki.hdu.2017.05.003

摘要

针对传统机械振动台标定M EM S加速度传感器设备比较复杂且不方便现场标定的情况,设计了一种集成现场标定功能的加速度传感器.采用电磁驱动原理,用通电导线上产生的安培力模拟传统机械振动台惯性力.给出了加速度传感器结构,用有限元仿真软件ANSYS分析了传感器的运动模态和灵敏度,实现了弹性系数以及标定特性的验证.结果表明,所设计的加速度传感器谐振频率为1528.84 Hz,静态位移灵敏度为0.109μm/g.该传感器驱动力矩较大,线性好,同时可实现现场传感器性能标定,具有较好的应用潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴迪东	杭州电子科技大学电子信息学院	1	0	0.0	0.0
2	董林玺	杭州电子科技大学电子信息学院	22	104	6.0	8.0