高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析

• 作者: 卢四华 宋萍 李科杰 石庚辰
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: MEMS 加速度传感器,结构分析
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 14-16,28
• 页数: 4页
• 分类号: TJ410.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2002.04.004

摘要

介绍了几种高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理,并对其结构特性进行了分析,最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电学院	54	627	15.0	23.0
2	李科杰	北京理工大学机电学院	109	1207	18.0	30.0
3	宋萍	北京理工大学机电学院	28	174	8.0	12.0
4	卢四华	北京理工大学机电学院	1	10	1.0	1.0