一种高冲击MEMS加速度传感器的仿真与优化

• 作者: 侯帅 张东红 张亮 张振海 李剑 李治清 李科杰 林然 柳新宇
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 高冲击 加速度传感器 MEMS 有限元 尺寸优化
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 智能仪器与传感技术
• 页码范围: 1831-1834
• 页数: 4页
• 分类号: TN302
• 语种: 中文
• DOI: 10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2015.05.113

摘要

基于高冲击MEMS加速度传感器的冲击灵敏度、频率响应与敏感芯片的结构尺寸存在相互制约关系,提出在满足传感器结构强度和固有频率条件下,提高传感器冲击灵敏度的理论分析、仿真模拟与实验验证的方法;运用ANSYS软件对敏感芯片的弹性膜片厚度与中心岛厚度进行多次设计与仿真,通过多组仿真数据对传感器的结构尺寸进行优化;高冲击实验验证表明,优化的传感器结构尺寸、性能指标能够满足设计要求,冲击灵敏度较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李科杰	北京理工大学机电学院	109	1207	18.0	30.0
2	张振海	北京理工大学机电学院	17	92	5.0	9.0
3	张亮	北京理工大学机电学院	16	125	7.0	10.0
4	李剑	北京理工大学机电学院	19	278	7.0	16.0
5	张东红		5	40	3.0	5.0
6	柳新宇	北京理工大学机电学院	2	2	1.0	1.0
7	李治清	北京理工大学机电学院	3	16	2.0	3.0
8	侯帅	北京理工大学机电学院	1	1	1.0	1.0
9	林然	北京理工大学机电学院	4	18	2.0	4.0