压阻式微加速度计的结构优化设计

• 作者: 徐栋 李丽华 熊继军 郭涛
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 微加速度计 压阻式 有限元优化 结构优化
• 年，卷（期）: 2007,（32）
• 所属期刊栏目: 微机电(MEMS)技术应用
• 页码范围: 221-223
• 页数: 3页
• 分类号: TN302
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.32.090

摘要

在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验,通过改变一个系统参数来分析系统性能.但随着系统参数的日益增加,这种类型的优化变得越来越困难.鉴于此,本文介绍了利用ANSYS软件对压阻式微加速度计进行结构优化的设计的方法,通过对压阻式微加速度计原结构和优化后的结构进行分析比较,加速度计的结构灵敏度提高了一个数量级,输出灵敏度提高了4倍以上.本文也对微加速度传感器的工作原理和有限元优化的相关概念作了简单的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丽华	太原山西中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	4	1.0	1.0
2	郭涛	太原山西中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	4	1.0	1.0
3	熊继军	太原山西中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	4	1.0	1.0
4	徐栋	太原山西中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	4	1.0	1.0