电容式微机械静电伺服加速度计模型建立

• 作者: 刘昌孝 陈宇晓
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 微机械加速度计 模型 方程 参数
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: TH824.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2003.01.008

摘要

阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理,详细分析并建立了在空间任一给定加速度a下加速度计的静态、动态和电模拟模型,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度,由此建立各方向上的运动方程,并给出各参数的计算公式,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘昌孝		10	62	5.0	7.0
2	陈宇晓	中国工程物理研究院电子工程研究所	32	161	7.0	10.0