厚膜混合集成电容式加速度计

• 作者: 唐豫桂 李燕 王玲
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 电容式加速度计 微小电容检测 厚膜混合集成
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器与仪器仪表
• 页码范围: 105-106,64
• 分类号: TN452
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-6835.2010.04.042

摘要

设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定.为减小体积,提高电容式加速度计的检测精度,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体,并进行了电路测试和性能测试.测试数据表明,其测试精度提高了一个数量级,线性度和温度特性均有很大的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李燕	河南农业大学机电工程学院	75	241	8.0	12.0
2	王玲	河南农业大学机电工程学院	80	262	7.0	13.0
3	唐豫桂	河南农业大学机电工程学院	15	57	5.0	7.0