MEMS及微机械加速度计可靠性研究

• 作者: 孔学东 师谦 李斌 许建军
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 微电子机械系统 可靠性 微机械加速度计
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 综述与展望
• 页码范围: 64-67
• 页数: 4页
• 分类号: TN389|TP271+.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2006.05.017

摘要

由于MEMS器件的应用日益频繁,其可靠性研究就显得十分重要.介绍了引起可靠性问题的原因.以微机械加速度计为例,指出了该加速度计的可靠性问题,以及对其可靠性测试研究的内容.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	师谦		11	110	7.0	10.0
2	李斌	华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所	128	542	12.0	17.0
3	孔学东		16	184	6.0	13.0
4	许建军	华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所	1	5	1.0	1.0