多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备

• 作者: 万之坚 张厚兴 张立明 李海峰 王文静 许颖 黄勇
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷衬底 复合陶瓷设计 薄膜电池
• 年，卷（期）: 2005,（z2）
• 页码范围: 865-867
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.1
• 字数: 1680字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2005.z2.069

摘要

采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄勇	清华大学深圳研究生院	173	2711	27.0	42.0
5	许颖		39	349	12.0	17.0
6	张立明	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	10	75	4.0	8.0
7	李海峰	清华大学深圳研究生院	21	226	8.0	15.0
11	万之坚	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	11	42	3.0	6.0
12	张厚兴	清华大学深圳研究生院	9	44	4.0	6.0