聚焦离子束写入技术对MEMS失效构件的修复

• 作者: 姜岩峰 张晓波
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 聚焦离子束 失效 MEMS构件 可靠性
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳操作装配及微电池技术等
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.013

摘要

在MEMS领域中,可活动的构件,如悬臂梁、桥和链等,由于不可避免的工艺因素,会影响其内部残余应力、泊松比等机械参数,在构件释放时,容易产生应变,从而使构件变形.针对悬臂梁式MEMS谐振器件所对应谐振频率的特点,结合聚焦离子束写入技术,对失效的构件进行修补,在一定的写入条件下,能够使构件恢复预计的频率,正常进行工作.对修复后的构件的可靠性寿命进行了测试,发现聚焦离子束写入技术对构件的可靠性寿命并没有明显的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜岩峰		44	285	7.0	15.0
2	张晓波		21	30	3.0	4.0