O.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-O.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究

• 作者: 刘少波 尚永红 张清涛 李艳秋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT) 溶胶凝胶 铁电薄膜 钙钛矿相
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳米材料及特性
• 页码范围: 359-362
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 2583字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.126

摘要

利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究了凝胶的热解过程,确定了420℃为溶胶的热解温度,750℃为合理的结晶温度;以Pt/Ti/Si(100)为衬底,成功地制备了0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3铁电薄膜.通过X射线衍射分析了热处理温度对薄膜相的影响.通过高倍显微镜研究了薄膜的表面形态,通过ZT-Ⅱ型铁电参数测试仪对PMNT薄膜进行了铁电性能测试.测试结果表明,制备的PMNT铁电薄膜为具有完全钙钛矿相的弛豫性PMNT铁电薄膜,薄膜无裂纹,致密性好,其剩余极化和矫顽场分别可达到2.5μC/cm2和45kV/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳秋	中国科学院电工技术研究所	35	388	12.0	18.0
2	尚永红	中国科学院电工技术研究所	12	143	6.0	11.0
3	刘少波	中国科学院电工技术研究所	11	68	5.0	7.0
4	张清涛	中国科学院电工技术研究所	2	6	2.0	2.0