氢氟酸腐蚀牺牲层数值模型及计算机仿真

• 作者: 周再发 李伟华 李艳辉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 牺牲层腐蚀 P0wer law模型 前端表面浓度 计算机仿真
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 224-226
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.077

摘要

介绍了在硅微机械加工的牺牲层释放中,氢氟酸(HF)腐蚀磷硅玻璃(PSG)模型的建立过程,详细阐述了Power law模型.根据模型给出了数值求解算法并进行了C语言编程工作,实现了对腐蚀过程的计算机仿真,并对牺牲层腐蚀的二维模型进行了探讨.