高精度位移传感器测量

• 作者: 王自军 苏永昌 裴丽梅 许婕 郑庆国
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 位移传感器 法布里-珀罗干涉仪 高精度测量
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 溯源技术和新仪器的研制
• 页码范围: 200-202
• 页数: 3页
• 分类号: TB92
• 字数: 2816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.z1.053

摘要

利用高精度的F-P激光干涉仪,研制了一套用于高精度位移传感器的校准装置,可以校准示值误差为十几个纳米到几十个纳米的高精度位移传感器.测量原理是利用F-P激光干涉仪的灵敏度高、测量精度高等特点,将干涉仪和被测传感器同时测量放置在精密位移工作台上,通过比较激光干涉仪移动镜的位移量和被测传感器的位移量间的差异,得出被测传感器的线性,整个测量过程完全由计算机控制.该系统测量范围为0～25mm,测量不确定度为6 nm+l/2 nm(k=1).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许婕		10	134	8.0	10.0
2	裴丽梅		13	48	4.0	6.0
3	郑庆国		11	53	4.0	7.0
4	苏永昌		11	59	3.0	7.0
5	王自军		8	23	2.0	4.0