一种新型的透明薄膜的研究

• 作者: 张骅 曾渊 许家栋 邓云
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 电磁屏蔽 透明薄膜 溅射 纳米技术
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TM151
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2006.05.012

摘要

应用的需求要求研制具有电磁屏蔽特性的透明薄膜,客观条件的限制使得这种薄膜不仅需要足够的透光性,还要具备相当的屏蔽效能.在比较现有技术的基础上,着重研究了称为"透明金属"的金属-电介质多层结构薄膜,在电磁屏蔽和光学投射两方面进行了分析设计.纳米技术的采用对制备工艺提出了更高的要求,双离子束溅射法具有优良的特性获得广泛采用.文章最后总结了最近取得的研究进展,提出以后的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许家栋	西北工业大学电子信息学院	331	2081	18.0	30.0
2	张骅	西北工业大学电子信息学院	9	43	3.0	6.0
3	曾渊	西北工业大学电子信息学院	11	28	3.0	4.0
4	邓云	西北工业大学电子信息学院	5	32	2.0	5.0