含硼金刚石单晶制备的研究进展

• 作者: 刘宪刚 周贵德 李和胜 李木森
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 含硼金刚石 金刚石单晶 制备工艺
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 热点评述
• 页码范围: 944-947
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164.8
• 字数: 5352字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2006.06.039

摘要

向人造金刚石中掺杂硼元素可以使金刚石获得比普通金刚石更为优异的物理和机械性能,同时还可以使金刚石具有半导体特性.国内外在含硼金刚石薄膜领域的研究较为深入,相对而言,在含硼金刚石单晶方面的研究较少,尤其是关于制备方法的研究.摸索总结出一种工艺简单、成本低廉、产品质量稳定的含硼金刚石制备方法对于丰富人造金刚石的品种,提高其品质,拓展其应用乃至从总体上提升我国人造金刚石行业的技术水平都有十分重要的意义.本文主要总结了目前国内外生产含硼金刚石单晶的七种方法,分析了他们各自的优缺点,同时简要介绍了作者所在课题组在含硼金刚石制备方法的研究方面所作的一些工作.本文指出了含硼金刚石单晶制备工艺进一步研究的方向和重点,同时对含硼金刚石单晶的应用前景作了展望.