用校正法提高补偿器检测法的精度

• 作者: 余景池 郭培基
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 测量精度 补偿器 非圆对称误差 泽尼克圆多项式 校正法
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 202-206
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 2200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.02.011

摘要

研究了一种测量、分离补偿法检测补偿器非圆对称误差的技术,这种技术基于波面误差可用泽尼克圆多项式来表述.通过使补偿器或被测非球面绕系统光轴旋转到多个不同的角度,得到多个测量结果,根据这些测量结果,计算得到由补偿器误差带来的波面误差的非圆对称项泽尼克圆多项式系数,接着根据这些非圆对称项泽尼克圆多项式系数制作一个校正文件对非球面的测量结果进行校正,利用该技术可有效减轻对补偿器材料、加工及装校的苛刻要求,提高测量精度.实验结果表明:对某一被测非球面不用该技术时测量结果为0.105 λ(RMS),应用此技术后的测量结果为0.026λ(RMS),且被测面在几个任意不同角度时的测量结果相差只有0.001 λ(RMS),效果很好.该技术已被应用到实际的双曲面凸面反射镜的测量中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭培基	苏州大学现代光学技术省重点实验室	25	387	12.0	19.0
2	余景池	苏州大学现代光学技术省重点实验室	41	634	17.0	23.0