定容式流导法微流量校准装置的设计

• 作者: 张涤新 赵定众 赵澜 郭美如
• 来源期刊: 中国空间科学技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 流量计 流量测量 校准 设计
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 44-51
• 页数: 8页
• 分类号: V4
• 字数: 5747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-758X.2006.02.007

摘要

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定容式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量.定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量.该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10-2～5×10-11)Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%～1.70%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭美如		28	208	8.0	12.0
2	张涤新		62	468	12.0	17.0
3	赵澜		28	161	8.0	10.0
4	赵定众		8	40	4.0	5.0