隧道状态下纳米级振动检测技术的研究

• 作者: 傅星 李梦超 胡小唐 郭彤
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米级振动 隧道效应 纳米测量机 微动平台 振动补偿
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 141-144
• 页数: 4页
• 分类号: TB936
• 字数: 2472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.02.012

摘要

使用德国SIOS公司生产的纳米坐标测量机微动平台作为调整机构,配合自行研制的隧道电流传感器,通过外加振动源,在隧道状态下对纳米级振动进行了检测实验.纳米级振动的研究既可以分析微弱振动对扫描隧道显微镜的作用机理,为以后的扫描隧道显微镜设计提供参考,又可以使振动测量的结果作为扫描隧道显微镜的振动补偿,提高扫描隧道显微镜的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
3	郭彤	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
4	李梦超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	8	44	4.0	6.0