表面离化微热板的结构设计和优化

• 作者: 何秀丽 李建平 贾建 郭会勇 高晓光
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 有限元方法 微热板 表面离化
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 136-140
• 页数: 5页
• 分类号: TU5
• 字数: 4362字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.02.012

摘要

对微热板温度、应力的分布以及功耗等情况的了解有利于微热板的优化设计,从而设计出性能符合要求的表面离化微热板.为此,用有限元方法对膜片型及梁支型微热板的温度和应力分布以及形变进行了模拟分析.结果表明:梁支型微热板不仅温度分布均匀,而且机械稳定性好,但是功耗较大;通过加热面积和梁长等结构尺寸的优化,可以有效降低功耗,同时能满足表面离化源对离化面积的要求.因此,梁支型微热板比膜片型微热板更适用于表面离化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	何秀丽	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	83	492	10.0	19.0
3	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0
4	贾建	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	43	151	7.0	9.0
5	郭会勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	6	42	3.0	6.0