纳机电系统研究进展

• 作者: 何洋 姜澄宇 苑伟政
• 来源期刊: 纳米科技
• 学科: 工学
• 关键词: 纳机电系统 纳米技术 航空航天
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: TN402
• 语种: 中文

摘要

综述了纳机电系统(NEMS)的研究进展;介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,以及一些典型NEMS器件的应用;讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术;探讨了NEMS研究发展趋势.