电容传感微小孔径的测量方法

• 作者: 刘斌 孙长库 王小兵 郑义忠
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电容传感器 微小孔径 非接触测量 标定
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 103-106
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.02.004

摘要

分析了电容传感器的基本原理,推导了电容传感器测量小孔内径的数学模型,组建了电容传感微孔测量系统,研究了Ф3mm微孔电容传感器的制作方法及测量系统的标定方法.所制作的测孔传感器经标定后,测量分辨率达到0.01μm.该测量系统操作简单,可通过USB接口、结合测量软件在计算机上直接读出微小孔的内径值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘斌	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	52	618	15.0	23.0
2	郑义忠	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	769	17.0	25.0
3	孙长库	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	95	1115	19.0	27.0
4	王小兵	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	17	1.0	1.0