电子束蒸发太阳能电池窗口层ZnO薄膜

• 作者: 阮文农 黄碧华 黄赐昌
• 来源期刊: 集美大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 电子束蒸发 退火
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 185-187
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.92
• 字数: 1442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7405.2006.02.019

摘要

用电子束蒸发法在玻璃基片上制备太阳能电池窗口层ZnO薄膜,并在氧气环境下对其在400～500℃的温度下退火1 h.通过X射线衍射、电镜扫描、透过率光谱等手段测试和分析所制备的薄膜,结果表明:当薄膜未经过热处理时,薄膜中含有大量的单质锌;当薄膜经过400℃退火后,薄膜逐渐结晶,并且其物相成分基本是ZnO当退火温度逐渐升高到500℃时,晶粒长大,晶化程度提高,对可见光和近红外光的透过率也增大,平均值可达90%,此时所制备出的ZnO薄膜适合于作为太阳能电池的窗口层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄赐昌	福州大学电子科学与应用物理系	8	46	4.0	6.0
2	阮文农	福州大学电子科学与应用物理系	2	4	1.0	2.0
3	黄碧华	福州大学电子科学与应用物理系	6	8	2.0	2.0