从晶体取向特点探讨ZnO薄膜的晶体不完整性

• 作者: 侯长民 冯守华 李向山 杜国同 马艳 高忠民 黄科科
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌薄膜 晶体取向 取向柱状多晶体
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 805-807
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1670字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2006.05.004

摘要

用MOCVD法在蓝宝石衬底上得到了ZnO(0002)膜, 并用XRD和SEM进行了表征. 结果表明, 薄膜中沿[0001]择优取向生长的柱状晶垂直于衬底表面, 晶柱之间存在着边界和间隙. X射线Ф扫描实验结果表明, 晶柱之间的取向偏差在3°～30°之间. X射线ω摇摆曲线和谱线宽度分析结果表明, 薄膜中的晶柱是由多个晶粒堆叠而成, 且晶粒之间的平均取向偏差也在2.6°以上. 实验结果表明,ZnO大失配度异质外延膜是c轴[0001]取向柱状多晶体, ZnO薄膜的结晶不完整性主要是由其柱状晶结构造成的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马艳	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室	10	24	4.0	4.0
2	杜国同	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室	41	204	8.0	13.0