干氧SiO2的氢氟酸缓冲腐蚀研究

• 作者: 刘晓芹 叶嗣荣 江永清 赵珊 郭林红 黄绍春
• 来源期刊: 桂林电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氢氟酸缓冲腐蚀液 干氧SiO2 湿法腐蚀 三氯乙烯
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 363-365
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2888字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-808X.2006.05.006

摘要

根据对掺三氯乙烯(TCE)干氧氧化的SiO2在不同配比氢氟酸缓冲腐蚀液(BHF)中的腐蚀特性的研究结果表明, 在HF wt%保持不变的条件下,腐蚀速率先随着NH4F wt%的增大而上升;NH4F大于15wt%～20wt%以后,腐蚀速率反而随之降低.值得注意的是,干氧SiO2同湿氧SiO2相比,在1wt% HF条件下,前者的腐蚀速率要比后者高,直到HF酸浓度大于3wt%时,前者的腐蚀速率才低于后者,这一现象可用NH+4 阻挡模型结合TCE在SiO2中引入浅电子陷阱的方式得到解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭林红		2	9	1.0	2.0
2	江永清		15	62	5.0	7.0
3	黄绍春	重庆邮电大学光电工程学院	3	17	2.0	3.0
5	赵珊		2	17	2.0	2.0
6	叶嗣荣		15	64	4.0	8.0
9	刘晓芹		1	8	1.0	1.0